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制程工艺管道中常用气体中英文对照名称
来源: | 作者:17063011 | 发布时间: 2017-11-14 | 220 次浏览 | 分享到:

制程工艺管道中常用气体中英文对照名称
符号 中文名称 英文名称

HF 氟化氢 hydrogen fluoride

BF3 三氟化硼 boron trifluoride

WF6 六氟化钨 Tunglsten Hexafluoride

NF3 三氟化氮 nitrogen trifluoride

SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride

CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride

POCL3 三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride

HF 氟化氢 hydrogen fluoride

BF3 三氟化硼 boron trifluoride

WF6 六氟化钨 Tunglsten Hexafluoride

SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride

CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride

POCL3 三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride

PH3 磷化氢 phosphine

C4F6 Hexafluorobutadiene

CH2F2 二氟甲烷 Difluoromethane

C5F8 八氟环戊烯 octafluoroyclopentene

CH3F 氟代甲烷 methyl fluoride(r41)

SF6 六氟化硫 Sulfur Hexafluoride

CO 一氧化碳 carbon monoxide

H2 氢 hydrogen

CL2 氯 chlorine

F2 氟 fluorine

HCL 氯化氢 hydrogen chioride

DCS 二氯甲硅烷 DiChlorosilane

BCL3 三氯化硼 boron trichloride

HBr 溴化氢 hydrogen bromide

B2H6 硼乙烷 diborane

GeH4 锗烷 germaniumtrtrahydride

NH3 氨 ammonia

O2 氧气 Oxygen

SIH4 硅烷 silane

SI2H6 乙硅烷 disilane

TMB 三甲硼 Trimethoxy Boron(TMB) B(OCH3)3

TMP 三甲亚磷 Trimethyl Phosphite (TMP) P(OCH3)3

TEOS TEOS四乙基原硅酸酯 Tetraethoxysilane (TEOS) SI(OC2H5)4

ASH3 砷化三氢 Arsine

O3 臭氧 ozone

Br2 溴 bromine

CLO2 二氧化氯 chlorine dioxide

CO2 二氧化碳 Carbon Dioxide

H2S 硫化氢 hydrogen sulphide

HCN 氰化氢 hydrogen cyanide

H2 氢 hydrogen

CH4 甲烷 Methane

NO2 二氧化氮 nitrogen trifluoride

NO 一氧化氮 nitric oxide

SO2 二氧化硫 sulfur dioxide

BF3 三氟化硼 Boron Trifluoride

HF 氟化氢 Hydrogen Fluoride

NF3 三氟化氮 Nitrogen Trifluoride

WF6 六氟化钨 Tungsten Hexafluoride

SiH4 硅烷 Silane (SiH4) (Low Level)

ASH3 砷化三氢 Arsine

PH3 磷化氢 phosphine

B2H6 硼乙烷 diborane

SIH4 硅烷 SiH4 silane

GeH4 锗烷GeH4 germaniumtrtrahydride

H2Se 硒化氢 H2Se Hydrogen Selenide

TBA 特丁基砷化三氢 TBA Tertbutylarsine

AsH3 砷化三氢AsH3 (干) Arsine

Cl2 氯气 II Cl2 chlorine

NO2 二氧化氮NO2 nitrogen trifluoride

CLO2 二氧化氯CLO2

Cl2 氯气 III Cl2 chlorine

Cl2 氯气 III Cl2 chlorine

NO2 二氧化氮 NO2 nitrogen trifluoride

HCL 氯化氢 HCI hydrogen chioride

HF 氟化氢 HF Hydrogen Fluoride

HCL 氯化氢 HCI (低级别l) hydrogen chioride

HBr 溴化氢 HBr hydrogen bromide

HI 碘化氢 HI Hydriodic acid

MMH 一甲基肼MMH

NH3 氨 II NH3 ammonia

COCL2 碳酰氯COCL2 Phosgene

H2S 硫化氢 H2S hydrogen sulphide

HCN 氰化氢HCN hydrogen cyanide

N2H4 肼N2H4/Hydrazine

H2S 硫化氢 H2S hydrogen sulphide

H2S 硫化氢 H2S (低级别) hydrogen sulphide

COCL2 碳酰氯-高范围 XP COL2 Phosgene

NF3 三氟化氮NF3 (CM4-Ponly) nitrogen trifluoride

BF3 三氟化硼BF3 (低级别) boron trifluoride

AsH3 砷化三氢XP AsH3 Arsine

PH3 磷化氢 XP PH3 phosphine

SiH4 硅烷XP SiH4 silane

B2H6 硼乙烷 XP B2H6 diborane

GeH4 锗烷XP GeH4 germaniumtrtrahydride

COCL2 碳酰氯XP COCL2 Phosgene

F2 氟F2 fluorine

AsH3 砷化三氢/LL XP AsH3 (低级别l) Arsine

HBr 溴化氢 HBr (低级别) hydrogen bromide

TDMAT 四(二甲基氨) 钛TDMAT Titanium dimethylamide

Cl2 氯气Cl2 chlorine

H2S 硫化氢 H2S hydrogen sulphide

H2S 硫化氢 H2S (低级别) hydrogen sulphide

H2S 硫化氢干 H2S/D hydrogen sulphide

TBA 特丁基砷化三氢XP TBA Tertbutylarsine

TBP 特丁基磷化氢XP TBP Tertbutylphosphine

H2Se 硒化氢H2Se Hydrogen Selenide

Cl2 氯气 Cl2 XP chlorine

DMA 二甲基胺DMA

NO2 二氧化氮NO2 nitrogen trifluoride

CH3F 氟代甲烷CH3F methyl fluoride(r41)

C5F8 八氟环戊烯 octafluoroyclopentene