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大宗气体管道系统
    发布时间: 2017-11-03 15:50    

  • 气体按用量的大小可分为二种,用量较大的称为大宗气体,用量较小的称为特种气体。

  • 大宗气体有:氮气、氧气、氢气、氩气和氦气。其中氮气在整个工厂中用量最大,依据不同的质量需求,又分为普通氮气和工艺氮气。

  • 大宗气体系统由供气系统和输送管道系统组成,其中供气系统又可细分为气源、纯化和品质监测等几个部分。通常在设计中将气源设置在独立于生产厂房(FAB)之外的气体站(Gas  Yard),而气体的纯化则往往在生产厂房内专门的纯化间(Purifier Room)中进行,这样使高纯气体的管线尽可能的短,既保证气体的品质,又节约成本。
     
  • 经纯化后的大宗气体由管道从气体纯化间输送至辅道生产层(SubFAB)或生产车间的架空地板下,在这里形成配管网络,最后由二次配管系统(Hook-up)送至各用户点
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