一种特气存在多个用气点时,气体还需经过VMB 或VMP 分路供应。用户根据工艺要求对分流数和分流压力流量进行设定。气体在分流盘上进行调节后达到工艺设备对气体的精确要求后再分流到各用气点。
建议危险性气体采用半自动VMB,非危险性气体采用手动气柜。
设备基本功能
•实现气体的分流
•实现各支路独立调压,分开控制,满足 不同工况的压力及流量需求
•实现主管的自动关断(或手动关断)
•实现各支路的自动关断(或手动关断)
•配置隔膜阀、调压阀、压力指示单元等 组件
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